| MEMS薄膜磁通门传感器的制作与特性 |
| [发布日期：2012-05-02 点击次数：1511] |
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摘要：摘 要：首先论述了微型平面磁通门传感器的原理和结构，在此基础上，详细介绍了基于微机电机械加工技术（MEMS）的集成磁通门传感器探头的制作过程（包括溅射、电镀、光刻、反应离子刻蚀（RIE）等）。分别采用高磁导率、低矫顽力的Co基非晶合金带材以及坡莫合金作为磁心制成磁通门探头。测试结果表明，在40kHz激励频率下，带材磁心探头的工作范围为±75μT，而坡莫合金磁心探头为±60μT，灵敏度分别为31.07V/T和23.76V/T。结果基本可以满足地磁场±60μT的测量要求。
关键词：MEMS技术；平面磁通门传感器；弱磁场检测；软磁材料
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