工业和信息化部在2月27日公布的《电子专用设备仪器“十二五”规划》中，从二个方面确定了我国“十二五”期间电子专用设备产业发展目标。
1、经济指标
“十二五”时期，我国电子专用设备产业将实现17%的年均增长速度，其中骨干企业年均增长20%，到2015年实现销售收入400亿元。
2、创新指标
12英寸65纳米集成电路制造装备实现产业化，研发成功45纳米～32纳米制造装备整机产品并进入生产线应用。在若干技术领域形成具有特色的创新技术和创新产品，大幅提升创新实力和差异化竞争能力。研发出8～10种前道核心装备、12～15种先进封装关键设备并形成批量生产能力。
缩小我国集成电路设备、工艺技术水平与当时国际先进水平的差距，除光刻机外基本缩小到1代甚至基本同步；晶硅太阳能电池设备达到国际先进水平；表面贴装设备除自动贴片机外达到国际先进水平；集成电路后封装设备、液晶显示器件后工序设备、发光二极管（LED）设备（除金属有机化学气相沉积设备外）、片式元件设备、净化设备、环境试验设备接近国际先进水平。 |
